回馈
全球办事处
新闻稿
产品和解决方案
半导体
特色产品
斯巴达™300毫米4个I / O分拣机
晶圆处理机器人
真空机器人
MagnaTran®7bisymmetrik™
MagnaTran®7bisymmetrik™
MagnaTran®7BisyMmetrik™(MAG 7 B)机器人采用了Magnatran产金宝搏亚洲体育平台品系列的所有技术优势,从而导致在>1100万的故障(MCBF)之间的均衡平均周期。
MagnaTran®7 Frogleg™
MagnaTran®7 Frogleg™
所述MagnaTran®7 Frogleg™(MAG 7 F)机器人结合导致故障间隔(M金宝搏亚洲体育平台CBF)的> 1100万证实平均周期的MagnaTran产品系列的所有的技术优点。
MagnaTran®7Leapfrog®
MagnaTran®7Leapfrog®
该MagnaTran®7Leapfrog®(MAG 7 X)机器人保留了所有的MagnaTran产品系列的功能和优点,同时具有在苛刻的集群工具应用的最高吞吐量可用。
MagnaTran®7 SCARA
MagnaTran®7 SCARA
MagnaTran®7Cara(MAG 7)机器人采用了MagnaTran产品金宝搏亚洲体育平台系列的所有技术优势,从而导致在故障(MCBF)之间的均线循环> 1100万。
MagnaTran®8 QuadraFly
MagnaTran®8 QuadraFly
MagnaTran®8 QuadraFly机器人利用经过验证的SCARA手臂技术和可靠的直接驱动机器人,在小容器摆动直径的真空中同时交换四个晶圆。
MagnaTran®8Radius™
MagnaTran®8Radius™
双臂MagnaTran®8RADIUS™机器人将Magnatran现场证实直接驱动技术的优势扩展到三轴驱动器。此外,MagnaTran利用经过验证的Scara Arm技术,在小容纳直径内提供Sub 4秒快速旋转。
晶圆处理系统
真空系统
vce加载锁
真空盒式电梯(VCE)装载锁
有四种风格适合晶圆制造环境,VCE 6真空盒式电梯装载锁定提供具有成本效益,最先进的工厂接口,以实现安全,清洁AGV,RGV或人类操作员转移至200mm半标准晶片盒。
Marathon™2运输系统
马拉松2传输系统
Brooks先进的真空晶圆传输技术非常适合半导体晶片加工和其他复杂的制造环境中的刀具自动化应用。我们提供一系列系统 - 以众多配置为100毫米至450mm晶圆传输 - 满足特定的制造环境和工艺要求。
马拉松™快递
马拉松快递真空运输系统
马拉松EXPRESS®是一个模块化的,可配置为真空真空优越的性能和为100mm时,125毫米,150毫米高吞吐量,和200mm晶圆尺寸应用进行了优化运输系统(VTS)。
大气系统
喷气™大气输送系统
喷射大气运输系统
喷气机,对所有布鲁克斯晶圆处理系统的核心大气自动化子系统,是第一EFEM在系统级设计,使客户能够构建过程的工具围绕一个共同的核心。喷气功能基于行业标准,以实现快速设置,缩短了生产周期,并无缝集成与现有的制造设备和工艺灵活,模块化的架构。
RFID和红外资产跟踪
工厂自动化解决方案
斯巴达分拣机
斯巴达分拣机
这种统一的晶圆管理系统使用的最低规模和复杂性要求完成其核心工作 - 移动晶片的干净,尽可能快地。提供更高的可靠性和最大化的效率,同时以最低粒子水平提供业界领先的洁净度。
加载端口
IsoPort™300装货港
IsoPort 300装货港
高度可配置的,自动晶圆处理溶液容易地与任何工具集成。两种设备制造商和芯片制造商过渡到300mm晶圆许多先进的好处。
视觉™300装货港
Vision 300负载端口
远景装载端口模块是最新一代的布鲁克斯负载端口模块。这是300毫米和450毫米的工具自动化智能灵活的工厂接口模块。与需要大量的准备时间设置和集成的LPM,视野装载端口模块被设计为最大的互操作性,无缝互换性且易于配置。
Certon™450装货港
Certon™450装货港
Certon™450mm负载端口符合450mm FOUP,FOSB和MAC(多应用载体)标准。
掩盖处理
M2旋钮变换器
M2旋钮变换器
Brooks M2掩模版更换器是掩盖/掩模交换和检查系统。单个I / O站允许在所有扫描仪/步进和装运箱之间传输掩模版/掩码,例如佳能,尼康,ASML,Toppan,Hoya,DMS盒等)。
缩小光罩索引
缩小光罩索引
提高了掩盖库存的有效性。保护来自颗粒状污染和空气传播的各种来源的掩模,同时为光刻工具提供标准界面。
SMIF解决方案
SMIF加载端口传输(LPT)
SMIF加载端口传输(LPT)
设计符合人体工程学设计的SMIF-I / O,可轻松集成SMIF-POD盒式装载和卸载成多种200 mm和150 mm晶圆处理和计量工具。
SMIF-INX分度器
SMIF-INX分度器
设计用于为固定Z轴晶圆处理器或盒式定位到Z轴晶圆处理程序的固定平面提供晶片索引。
Versaport™2200负载端口
VersaPort 2200装货港
该行业最先进的200mm标准机械接口(SMIF)I / O处理工具,其负载端口开启器。虽然设计为200mm至300mm过渡的“桥接工具”,但Versaport 2200还为SMIF I / O处理提供了一个开放式录像带的解决方案。
半导体污染控制
特色产品
M800设施Automatic300mm FOUP清洁
清洁工具
FOUP /波德清洁工
M800 300mm FOUP清洁剂
M800 300mm FOUP清洁剂
M800全自动300mm FOUP清洁剂结合了最佳粒子和AMC清洁性能,并以最高吞吐量提供湿度控制。
M330全自动FOUP清洁剂
M330 FOUP全自动清洗机
该M330清洁是一个世界级的全自动FOUP兼容系统,它提供优异的洗涤和干燥性能,操作的方便和成本效益。
M600自动料盒清洗机
M600自动料盒清洗机
M600全自动中央力清洁剂是自动清洁RSP150或RSP200的完美解决方案。在手动模式下,可以清洁所有类型的掩模版或晶片载体。
M300半自动FOUP /荚清洗机
M300半自动FOUP /荚清洗机
M300的半自动机是对所有类型的载体(SMIF,开盒,FOUP,FOSB,RSP和翻盖)通用离心力吸尘器。它实现了无与伦比的清洗和烘干效果。
EUV荚清洗机
M1000 EUV荚清洗机
EUV荚清洗机
该M1000全自动EUV荚清洁器提供了由每个EUV或RSP200部分的单个清洁最高性能。
清洁存储
掩盖股票人
M1500半自动
M1500半自动光栅盒储料器
Brooks半自动M1500掩盖箱储料箱在其案件中存储高达1,500个光栅。识别掩模版盒ID,数据文件被记录在数据库中。
M1900掩盖股票人
M1900掩盖股票人
M1900光罩储存盒的四个变化:全自动半裸露,全自动RSP150,全自动EUV POD斯托克,半自动。
掩盖存储器
掩盖存储器
用于SMIF POD的RPS-C自动存储和管理系统
用于SMIF POD的RPS-C自动存储和管理系统
在RPS-C为光罩SMIF盒(RSP)与任选XCDA或N 2吹扫一个完全自动化的独立存储和库存管理系统。
RS裸光罩斯托克家庭
RS裸光罩斯托克家庭
RS系列提供全自动的掩模版管理系统,将带有储料器容量的分拣机结合在一起,高达2900个标注。
RS-C掩码存储和检查系统
RS-C掩码存储和检查系统
RS-C是一个全自动,高度灵活的独立存储和检测系统,可为6“。
RX光罩施特克尔和运营商缓冲区
RX光罩施特克尔和运营商缓冲区
RX系列是光罩储存器和用于管理整个工厂的标线载波缓冲的创新组合。
RXI掩盖检查,分拣和存储平台
RXI掩盖检查,分拣和存储平台
RXI是一个完全自动的独立检测系统,可为6“。
薄酥饼架和盒子
框架盒子
框架盒子
巨型光学案例
快速
B超大型
C Swift.
D双胞胎
定制
晶圆载体
晶圆载体
6" 晶片载体
8“晶圆架
晶圆运输盒
晶圆运输盒
200mm晶圆运输箱
200毫米单晶片运输箱
掩盖处理
M2旋钮变换器
M2旋钮变换器
Brooks M2掩模版更换器是掩盖/掩模交换和检查系统。单个I / O站允许在所有扫描仪/步进和装运箱之间传输掩模版/掩码,例如佳能,尼康,ASML,Toppan,Hoya,DMS盒等)。
缩小光罩索引
缩小光罩索引
提高了掩盖库存的有效性。保护来自颗粒状污染和空气传播的各种来源的掩模,同时为光刻工具提供标准界面。
生命科学
服务
半导体
生命科学
公司
关于布鲁克斯
布鲁克斯自动化公司
关于布鲁克斯
管理团队
董事会
金宝搏亚洲体育平台公司治理
质量保证
条款和条件
金宝搏亚洲体育平台公司标志
联系我们和全球办事处
布鲁克斯自动化公司
联系我们和全球办事处
全球办事处
亚洲
欧洲
北美
产品代表仪表
联系与信息索取
网站反馈
金宝搏亚洲体育平台企业责任
金宝搏亚洲体育平台企业责任
治理和道德
产品责任
社会影响
可持续性
新闻与事件
布鲁克斯自动化公司
新闻,活动和网络研讨会
新闻和新闻稿
活动
投资者
布鲁克斯自动化公司
职业生涯
布鲁克斯自动化公司
职业生涯
我的布鲁克斯
船运
保修航运政策的新产品,维修和备件。
发货跟踪
邮件追踪。
供应商
Brooks供应商的工具和信息。
购买条款和条件
采购条款和条件英语,德语和日语。
供应链政策
供应链社会和环境责任政策
供应商发起行动请求
供应商发起行动请求(SIAR)Web表格。
联系我们
188宝金博手机网址
布鲁克斯半导体
赛义维